檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "近似".ckeyword (精準) and year="105"
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傳統的機械臂控制因未考量驅動器動態,而在高速運動下會使控制效能劣化。本篇論文考量了電氣特性,對高速運動的剛性機械臂提出了一個新的適應控制器。本篇新架構的控制器除了估測機械臂的物理與電氣模型之外,更大…
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處理控制問題時,實際模型和數學模型之間總有不可避免的差異。經由適當的控制器設計,便可將此差異減小或使其不受差異的影響而能達成控制目標。本論文針對為某一類的單輸入單輸出非線性時變系統提出控制法則,以容…
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半導體為世上重大發明且與現代生活密不可分,隨著世代的進化變遷,不斷的追求微細化及線路層層堆疊而對於晶片的考驗也越來越嚴苛,全域平坦化表面將成為相當重要得關鍵技術。化學機械拋光/平坦化(Chemica…